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厦门大学孙世刚院士到访上海新阳及上海市 集成电路关键工艺材料重点实验室 共商合作新篇章

厦门大学孙世刚院士到访上海新阳及上海市 集成电路关键工艺材料重点实验室 共商合作新篇章

  • 分类:合作交流
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  • 来源:
  • 发布时间:2025-05-16 17:26
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【概要描述】2025年5月14日,中国科学院院士、厦门大学化学化工学院孙世刚教授及高端电子化学品国家工程研究中心(以下简称“工程中心”)一行到访上海市集成电路关键工艺材料重点实验室(以下简称“重点实验室”),双方围绕集成电路材料领域的科研合作、技术攻关及人才培养等议题展开交流。本次访问旨在促进跨区域产学研协同创新,助力我国集成电路关键材料技术的自主可控发展。

厦门大学孙世刚院士到访上海新阳及上海市 集成电路关键工艺材料重点实验室 共商合作新篇章

【概要描述】2025年5月14日,中国科学院院士、厦门大学化学化工学院孙世刚教授及高端电子化学品国家工程研究中心(以下简称“工程中心”)一行到访上海市集成电路关键工艺材料重点实验室(以下简称“重点实验室”),双方围绕集成电路材料领域的科研合作、技术攻关及人才培养等议题展开交流。本次访问旨在促进跨区域产学研协同创新,助力我国集成电路关键材料技术的自主可控发展。

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2025年5月14日,中国科学院院士、厦门大学化学化工学院孙世刚教授及高端电子化学品国家工程研究中心(以下简称“工程中心”)一行到访上海市集成电路关键工艺材料重点实验室(以下简称“重点实验室”),双方围绕集成电路材料领域的科研合作、技术攻关及人才培养等议题展开交流。本次访问旨在促进跨区域产学研协同创新,助力我国集成电路关键材料技术的自主可控发展。

座谈会上,高端电子化学品国家工程研究中心刘恩恩副主任介绍了工程中心研发平台情况,工程中心在电子电镀相关电子化学品,湿电子化学品的合作研发情况,以及在高端电子化学品的材料、设备、验证以及方法学的系统布局情况。技术中心主任孙红旗汇报了重点实验室研发项目进展情况,对外合作交流情况。双方就当前我国集成电路关键工艺材料领域关键和重点材料的技术发展趋势、技术卡点和合作研究支撑产业发展等方面展开了讨论。

在实验室主任王溯博士及技术中心主任孙红旗等负责人的陪同下,孙世刚院士一行参观了重点实验室先进研发平台,重点了解了实验室在集成电路制造用电镀、清洗、光刻胶、CMP抛光材料、蚀刻液等方向的创新成果。孙院士对重点实验室在产研结合与产业化应用方面取得的成绩表示高度认可,不论是芯片铜互连电镀液和添加剂项目十数年磨一剑的脚踏实地研发终于与实现产业化应用,还是光刻胶领域不以短期商业利益的投入研发和创新,都是值得学术界和产业界学习的。

重点实验室主任王溯博士表示:“孙院士团队在材料微观机制研究方面以及计算化学领域的成果为重点实验室的新材料研发提供了重要启示。未来期待双方能有合作机会,加速实验室研究成果的应用转化,为我国集成电路关键材料技术的自主可控发展注入新动能。”

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