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2021年度开放课题公示

2021年度开放课题公示

  • 分类：开放课题公示
  • 作者：
  • 来源：
  • 发布时间：2021-06-07 16:48
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2021年度开放课题公示

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序号

课题名称

课题编号

申请人

工作单位

项目起止日期

资助金额
（万元）

1

3D NAND制程中Si3N4选择性
刻蚀工艺的SiO2回沾问题研究

SKLIPM-2021001

凌慧琴

上海交通大学

2021.6-2022.5

10

2

铜互连中添加剂杂质行为研究

SKLIPM-2021002

李明

上海交通大学

2021.6-2022.5

10

3

光刻胶试剂超纯化处理基础研究

SKLIPM-2021003

朱晓群

北京化工大学

2021.6-2022.5

10

4

KrF光刻胶树脂的研发

SKLIPM-2021004

李三保

南京极速优源感光材料
研究院有限公司

2021.6-2022.5

10

5

ArF光刻胶树脂的研发

SKLIPM-2021005

聂俊

南京极速优源感光材料
研究院有限公司

2021.6-2022.5

10

6

碳化硅陶瓷膜纯化氮化硅
刻蚀液研究

SKLIPM-2021006

李光辉

上海工程技术大学

2021.6-2022.5

10

7

钴抛光液后清洗相关技术研究

SKLIPM-2021007

万传云

上海应用技术大学

2021.6-2022.5

10

 

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