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发布时间:2021-03-17 20:41:35
上海市集成电路关键工艺材料重点实验室依托上海新阳半导体材料股份有限公司,以电子电镀、电子清洗、光刻胶为主要研究方向,重点解决半导体湿法工艺化学材料与光刻胶这样“卡脖子”的技术难题,开展相关基础研究与产业技术应用研究工作。2020年1月2日,由上海市委常委、副市长吴清授牌。现届学术委员会主任为张卫教授,现任实验室主任为王溯博士。
实验室现有固定研究人员47人,其中博士2人,硕士18人,上海市千人计划1人,松江区领军人才1人。有近30%的专业技术人员行业经验在10年以上,形成了一批由海外归国专家、留学回国人员及国内多年从事该领域研发的专业人才组成的高素质和专业经验丰富的技术研发团队。
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